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系統由中央純水設備、純水系統管網、終端純水取水點、終端超純水設備組成，系統主機采用一備一用，可同時制水、不間斷供水，純水電導率≤5μS/cm(25℃)達到三級水水質標準，超純水電阻率≥18 M?.cm@25℃，達到高純水水質標準。